代码
300820
● 全数字控制,匹配精度高,匹配时间短 ● 采用真空电容,可靠性高,使用寿命长 ● 结构紧凑,体积小,安装便捷 ● 超宽匹配范围,可定制适配任意负载 ● 具有手动/自动匹配功能 ● 具有保持和预置设定功能 ● 具有通讯功能,可独立连接上位机实时显示负载状态
输入
控制电压:AC230V±10% 或 DC24V
输入接口:N型、HN、7/16
频率:13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz
传输功率:1.5kW~6kW
射频输出电压:4000Vpeak
射频输出电流:25Arms~120Arms
输出
输出接口:7/16、B20N、铜排, 其他规格可定制
性能指标
匹配时间:A系:端对端<5s ,预设点到匹配点 1s~3s C系:端对端<3s ,预设点到匹配点 0.3s~2s
驻波:A系:<1.2 C系:<1.1
阻抗实部:1Ω~200Ω
阻抗虚部:+200j~-200j
负载类型:ICP 或 CCP
外形尺寸:根据客户要求定制
注:产品不断创新,性能继续提升,本参数说明仅供参考。
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